氧氮氫分析儀可測定鋼中的氧、氮含量，評估材料純度及性能，監控冶煉過程。鋁、銅、鎂合金中的氫含量分析（氫脆問題）。鈦合金中的氧、氮雜質檢測（影響力學性能）。

化學品合成過程中需監控反應過程中氧氮比例，確保化合物分子結構的穩定性。藥品生產時檢測抗生素、疫苗等生物制劑中的氣體元素殘留，符合藥典純度標準。

氧氮氫分析儀在半導體與電子領域的應用至關重要，主要用于檢測材料中的微量氧（O）、氮（N）、氫（H）雜質，這些元素會影響材料的電學性能、機械穩定性和工藝可靠性。

氧氦氫分析儀可用于測定地質樣品中的氧同位素組成、氮、氫元素含量，助力古氣候重建。礦床成因研究及環境污染物分析，為資源勘探和生態評估提供關鍵數據支撐。

稀土材料中的 氧、氮、氫 的含量直接影響其性能和工藝，氧氮氫分析儀可檢測稀土金屬及化合物中的氧、氮、氫含量，控制冶煉純度和材料性能，防止氫脆和氧化。

氧氮氫分析儀在陶瓷領域用于檢測結構陶瓷和功能陶瓷中的氧、氮、氫含量，優化燒結工藝，控制雜質，確保材料致密性、機械強度及電學性能。